Technika vákuového magnetrónového naprašovania je použitie samičieho, bipolárneho povrchu elektródy s magnetickým poľom elektrónu v katódovom povrchovom drifte, nastavením elektrického poľa cieľového povrchu kolmo na magnetické pole, elektrón zvyšuje zdvih, zvyšuje rýchlosť ionizácie plynu, zatiaľ čo vysokoenergetické častice po zrážke plynú a strácajú energiu, čím sa znižuje teplota substrátu, kompletný povlak na materiále, ktorý nie je odolný voči teplote.